Il sistema offre le migliori funzionalità e performance di un laser a eccimeri a 193 nm con un ottimo rapporto prestazioni-prezzo
Descrizione
Le sue caratteristiche lo rendono ideale per ablare qualsiasi tipo di materiale: campioni opachi, trasparenti, fino a campioni delicati come polveri e quarzo.
La tecnologia “Fire on the fly”, assicura la perfetta sincronizzazione fra lo stage motorizzato e la sorgente laser. La cella a due volumi HelEX garantisce un washout veloce ed efficiente, rendono il sistema ideale per analisi spot accurate, profili di profondità precisi e mappature ad altissima risoluzione.
Caratteristiche principali:
- Laser a lunghezza d’onda ultra corta di 193 nm
- Sorgente pulsata con lunghezza < 4 ns
- Omogeneizzazione ottica della sorgente laser per ablazione
- Dimensione dello spot da 1 a 155 µm
- Misura diretta dell’energia fornita al campione misurata direttamente sulla superficie del campione
- Stage motorizzato con con escursione di 100×100 mm sugli assi X-Y e 50 mm sull’asse Z con precisione migliore di 1 micron
- Cella a due volumi HelEx II Cell, Washout fino allo 0.1 % in meno di 1 sec (0.7 sec tipico)
- Sistema ultra rapido di introduzione del campione in torcia con tempi inferiori tra wash-in e wash-out ai 20 millisecondi. Opzione indispensabile per applicazioni imaging
- Possibilità di stage criogenico o di cella “High Vacuum” per gas nobili
- Tecnologia “Fire on the fly” per il controllo dei profili di profondità durante l’ablazione
- Mass Flow Controller integrato calibrato per He e Ar, per il controllo del gas di trasporto in cella
- Ottica di visualizzazione con telecamera GigE e ingrandimento continuo che permette di risolvere oggetti fino a 2 µm di diametro
- Ottica del microscopio asferica perpendicolare rispetto al campione e coassiale con il fascio del laser; questa geometria permette una perfetta collimazione fra l’immagine ottica e il fascio laser
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